Thermo Scientific Helios G4 PFIB CXe SEM

A laborunkban található negyedik generációs Thermo Scientific Helios G4 PFIB CXe pásztázó elektronmikroszkóp a tudományos és ipari munkák széles spektrumát képes kielégíteni. A téremissziós katód nagy felbontást, akár 0,6 nm pixel méretet is eredményezhet. Az induktív plazma csatolású fókuszált ion sugárral (Xe-plazma, mely Magyarországon és Közép-Európában egyedül itt a Miskolci Egyetemen található) nagy anyagmennyiség, több száz µm² terület gyors megmunkálását teszi lehetővé. A plazmavágásnak köszönhetően, a vizsgálandó anyagból 2D és 3D információt lehet gyűjteni. STEM (pásztázó transzmissziós) üzemmódban az elkészített TEM-mintákat egyből ellenőrizni is lehet.

• Korrelatív lézeres megmunkálás (Trumpf UV lézer /355 nm/), mely saját egyedi kérésre lett fejlesztve
• integrált EDAX EDS és EBSD detektor teljes szoftverrendszerrel
• Xenon-plazmaágyú
• Platina (Pt) és szén (C) lerakási lehetőség
• STEM üzemmód, multifunkciós detektorral
• Integrált plazmatisztító

Jellemzők:

Elektronforrás: Schottky téremissziós katód

• Gyorsító feszültség: 350 V – 30 kV
• Nyaláb áram: 0,8 pA – 100 nA
• Felbontás:
• 2-15 kV: 0,6 nm
• 1 kV: 0,7 nm
• 500 V: 1 nm
• 350V: 1,1 nm

Tárgyasztal: 110*110 mm 5 tengelyes eucentrikus asztal, többféle mintatartóval

• Mozgatás:
• x és y: 110 mm
• z: 65 mm
• forgatás: 360°
• döntés: -15°és +90°
• Maximum 2 kg (0,5 kg) minta

Detektorok:

• Everhart-Thonley SE detektor
• Szekunder elektron és ion (ICE) detektor
• Elstar In-column detektor
• EDAX EDS detektor (30 mm², felbontás 127 eV MnKα mérve)
• EDAX EBSD detektor
• STEM detektor (szegmentált BF, DF és HAADF)

Plazma nyaláb: Xenon plazma

• feszültség: 2-30 kV
• nyalábáram: 1,5 pA – 2,5 µA

EasyLift LT Nanomanipulátor

Segédgáz befecskendezés (5 port, amiből 2 csatornán van hűtési lehetőség): Pt és C